반도체 진공 챔버

제품

• 대형 알루미늄 캐비티

• 광학 섬유 산업

  진공 소결로

• 항공우주 산업

• 실리콘結晶 성장로 본체

  LPCVD\/PECVD\/MOCVD\/ 플레이트 CVD

• 세대 반도체 단일結晶 성장로

• 화학기상침착 코팅 장비 실내(CVD)

• 물리기상침착 코팅 장비 실내(PVD)

  마그네트론 스퍼터링 코팅 장비

  アー크 증발 코팅 장비

  분자 빔 에피테이션 (MBE) 장비

  레이저 스퍼터링 성막 (PLD) 장비

  멀티 아크 이온 플레이팅 장비

• 연속형 코팅腔

• 반도체 진공 챔버

• 수소 에너지/리튬 배터리 산업

  PEM 수소 전해지기 단자 플레이트

• 제약 및 화학 공학

  기계의 내부 막이 기계 캐비를 탈기합니다

  열교환기 파이프라인

  전자식 제거기

  열교환기