Kolmannen sukupolven semikonduktorin yksikkökrystalin kasvatusuuni

Tuotteet

• Suuri alumiinikorvaus

• Optinen kuitteollisuus

  Vakuumisinteroiva uuni

• Ilmailuteollisuus

• Silikonikristallin kasvattimen runko

  LPCVD/PECVD/MOCVD/ Plate CVD

• Kolmannen sukupolven semikonduktorin yksikkökrystalin kasvatusuuni

• Kemiallinen höyrysyöttökäsittelykone kaari (CVD)

• Fyysinen höyrysyöttökäsittelykone kaari (PVD)

  Magnetronputkimisen peittojärjestelmä

  Kaarihöyryttymispeitojärjestelmä

  Molekyyli束epitaaksijärjestelmä (MBE)

  Laserpulssputterointilaitteisto (PLD)

  Moniarkio-ioniplaatolaitteisto

• Jatkuva kattoinen peittoketju

• Semikonduktiorisuvakameri

• Happoenergia/Liitiumakku-alo

  PEM-hydrogeeni elektrolyysin loppuplatta

• Lääke- ja kemianjohto

  Koneen sisäinen kuori hajottaa koneen kaasut

  Lämpövaihtimen putki

  Sähköinen höyryttäjä

  Lämpövaihtaja